招標(biāo)編號(hào): | 0613-094010310454 |
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加入日期: | 2009.04.29 |
截止日期: | 2009.05.20 |
招標(biāo)代理: | 上海機(jī)電設(shè)備招標(biāo)公司 |
地 區(qū): | 上海市 |
內(nèi) 容: | 制造光伏器件用化學(xué)氣相沉積裝置 2套 1、設(shè)備適用于加工厚度大于160μm 的125×125mm2,156×156mm2方形及準(zhǔn)方形硅片。在改變產(chǎn)品規(guī)格時(shí),除更換相應(yīng)的工裝外,無(wú)需改動(dòng)設(shè)備硬件配置。 2、能夠在單、多晶硅片表面沉積氮化硅薄膜。 3、設(shè)備能夠滿足24小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)模式的工作要求。 |