近距離蒸發(fā)鍍膜設(shè)備（XF-WSBX-2200392）采購公告
發(fā)布日期：2022年08月26日 | 標(biāo)簽：
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公告摘要
各有關(guān)單位請(qǐng)于2022.09.02前與公告中聯(lián)系人聯(lián)系，及時(shí)參與投標(biāo)等相關(guān)工作，以免錯(cuò)失商業(yè)機(jī)會(huì)。
部分信息內(nèi)容如下：（查看詳細(xì)信息請(qǐng)登錄）
符合《政府采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件
公告說明 采購清單* 采購商品 采購數(shù)量 計(jì)量單位 所屬分類 近距離蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng) * 臺(tái) 機(jī)電設(shè)備 無 無 品牌 品牌* 型號(hào) 品牌* 型號(hào) 品牌* 型號(hào) 預(yù)算單價(jià) ￥******.** 技術(shù)參數(shù)及配置要求 *. 工作電壓：***V AC，**Hz
*. 總功率：**kW
*. 爐體結(jié)構(gòu)和真空室：
？ 雙加熱器，兩個(gè)溫度控制器，雙通道浮子流量計(jì)，可向真空腔體中通入氣體
？ 真空腔體:不銹鋼材質(zhì)，帶φ***mm側(cè)觀察窗
？ 腔體尺寸:直徑約***mm，高度約***mm
？ 真空法蘭由***不銹鋼制成
？ 法蘭由雙硅膠O形圈密封，可通過機(jī)械泵實(shí)現(xiàn)**E-* Torr 的真空壓力
*. 氣體流量計(jì)：
控制面板上安裝兩個(gè)浮子表，測(cè)量范圍為:
？ **-***mL/m
？ *** - **** mL / m(用于清洗目的)
*. 加熱器和樣品架：
？ 兩組短波紅外燈作為加熱元件，用于快速加熱。
？ 兩個(gè)加熱器之間的距離可在** - ** mm之間調(diào)節(jié)
？ 上下兩板中間配備擋板
？ 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速為*~**rpm
？ 加熱器由不銹鋼制成，帶有水冷夾套，可減少熱輻射并實(shí)現(xiàn)快速冷卻
？ *英寸圓形晶圓支架內(nèi)置頂部加熱器，可裝載基板
？ 包括一個(gè)高導(dǎo)熱氮化鋁板(*英寸直徑×*.*mm厚)，它應(yīng)放在基板的背面，使其均勻加熱溫度控制器
？ 兩個(gè)精密數(shù)字溫度控制器，**段可編程，可獨(dú)立控制頂部和底部加熱器
？ 每個(gè)控制器都具有PID自動(dòng)調(diào)諧功能，以保護(hù)加熱器免 受過沖和報(bào)警功能，以避免過熱和熱電偶斷開
？ 安裝PC通信接口和軟件記錄溫度曲線
*. 測(cè)溫元件：
？ 兩個(gè)K型熱電偶. ,安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸
*. 工作溫度：
每個(gè)加熱器的最高溫度:<=***°C 兩個(gè)加熱器之間的最大溫差:<=***°C
加熱和冷卻速度：
？ 加熱:<*°C / s (僅加熱單個(gè)加熱器)
？ 冷卻:<**°C / s
*. 開蓋方式：
？ 電動(dòng)升降上蓋
*. 付款方式: 合同簽訂后支付**%預(yù)付款，上門安裝調(diào)試驗(yàn)收后*個(gè)工作日內(nèi)支付剩余**%尾款 參考鏈接 售后服務(wù) 電話支持:*x**小時(shí);質(zhì)保期:*;服務(wù)時(shí)限:報(bào)修后**小時(shí);商品承諾:原廠全新未拆封正品;
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